Процес розпилення випаровує вихідний матеріал, який називається мішенню, для нанесення тонкої високопродуктивної плівки на такі вироби, як напівпровідники, скло та дисплеї. Склад мішені безпосередньо визначає властивості покриття, що робить вибір матеріалу критично важливим.
Використовується широкий спектр металів, кожен з яких обраний для досягнення певних функціональних переваг:
Основні метали для електроніки та проміжних шарів
Високочиста мідь цінується за свою виняткову електропровідність. Мішені з міді чистотою 99,9995% необхідні для створення мікроскопічних проводів (взаємозв'язків) всередині сучасних мікрочіпів, де мінімальний електричний опір є надзвичайно важливим для швидкості та ефективності.
Високочистий нікель слугує універсальною робочою конячкою. Він використовується переважно як чудовий адгезійний шар і надійний дифузійний бар'єр, що запобігає змішуванню різних матеріалів і забезпечує структурну цілісність і довговічність багатошарових пристроїв.
Тугоплавкі метали, такі як вольфрам (W) та молібден (Mo), цінуються за їх високу термостійкість та стабільність, часто використовуються як надійні дифузійні бар'єри та для контактів у складних середовищах.
Спеціалізовані функціональні метали
Високочисте срібло має найвищу електро- та теплопровідність серед усіх металів. Це робить його ідеальним для нанесення високопровідних, прозорих електродів у сенсорних екранах та блискучих відбивних, низькоемісійних покриттів на енергозберігаючі вікна.
Дорогоцінні метали, такі як золото (Au) та платина (Pt), використовуються для високонадійних, стійких до корозії електричних контактів та у спеціалізованих датчиках.
Перехідні метали, такі як титан (Ti) та тантал (Ta), мають вирішальне значення завдяки своїм чудовим адгезійним та бар'єрним властивостям, часто утворюючи базовий шар на підкладці перед нанесенням інших матеріалів.
Хоча цей різноманітний набір матеріалів дозволяє використовувати сучасні технології, характеристики міді щодо провідності, нікелю щодо надійності та срібла щодо найвищої відбивної здатності залишаються неперевершеними у відповідних застосуваннях. Стабільна якість цих високочистих металів є основою високоефективних тонкоплівкових покриттів.
Час публікації: 24 листопада 2025 р.
